石英ガラス検査装置
Point.1
石英ガラス表面の微細検査に対応
→10mm幅の石英ガラスの検査
→お客様の製品であるガラス基板の搬送において、チャック時についた表面の１μｍの微細傷を検査
Point.2
ご提案の特徴
→共焦点光学系を構築することで焦点位置のみの画像情報を得ることができ、非常に高精細でコントラストの高い撮影ができます。
★石英ガラス以外にも水晶光学フィルタ、サファイアウエハといった精密素材に対し、スクラッチ傷や微細異物、及びコーティング不良といった表面状態を高コントラストに撮影します。
★焦点位置のみの情報より、１次元での高さ(深さ)が観察できます。
→一般の顕微鏡やマイクロスコープのように、対物レンズの交換が可能です。
標準で2.6mm、4mm、10mm、26mmが選択でき、2.6mm視野なら0.5μmの解像力があります。
★検査幅と解像度の組合せを、お客様のニーズに合わせた仕様で提供いたします。
→10mmの視野幅で1μmの欠陥を検出します。
★顕微鏡にはない広視野の元、カメラでは検出できない解像力で欠陥検査が行えます。
→最大検査幅を超えるサイズに対しては、横方向にも電動ステージを設けて複数列に分けて撮像します。
★複数列に対応するマルチスキャン機能の搭載により、広い面積も自動で全面検査が可能です。
Point.4
石英ガラスの表面の1μm微細キズを検出した画面イメージです
★対物レンズの選択により、さらなる広視野や高解像にも対応できます。
