レーザー式表面形状欠陥検査装置（ＬＤＳＳ－０１）
１００ｍｍ幅において１０μｍピッチで１μｍの高さ分解能を有するレーザー光学系を用いた表面形状欠陥検査装置です。
電極・セパレータ等に使用される金属やセラミック素材における凹凸・うねり・そり・塗工ムラ等の表面形状を非接触で計測し、微細な欠陥を検出します。
レーザー式高速広視野欠陥検査装置（ＬＤＷＳ－０１）
半導体レーザーによるフライングスポット方式を採用した投光器と、超高速高感度受光器の採用により、微小な欠陥を高速に検出します。
各種シート素材をはじめ、ガラス、金属、樹脂、粉体などの素材において、キズ・汚れ・異物などの欠陥を検出します。
高感度蛍光検出装置
励起光源・光学機構・分光器を組み合わせた蛍光分析装置として、環境光下でも高感度に検出します。
蛍光物質を利用した製品の塗布・含有状態を分析したり、環境調査、各種実験など幅広くご利用頂けます。
