100mm四方の検査エリアを1億画素相当に分割し、各画像の高低差をカラーで階調表現できる表面形状検査装置です。

・驚きの高さ分解能で「見極める」
高さ方向判定値を元に1μm高さ分解能で表面形状の欠陥部を
自動検出します。

・今までにない検査幅で「見極める」
従来の変位系などのように点ではなく、100mmの幅の面で
表面変位の欠陥検査が可能です。

・表面形状の画像化で「見極める」
対象物の表面形状を非接触で画像化することにより
視覚的に欠陥を解析する事ができます。

電極・セパレーター等に使用される金属やセラミック素材に
ついて、凸凹・うねり・そり・付着異物等の表面形状を
非接触で検査します。
 
300mm幅において10μmの欠陥が検出可能な
高速・広視野な欠陥検査装置です。

・驚きの高速・広視野で「見極める」
300mm幅において最高18m/分のライン速度で画像化し、最小10μmの欠陥を面積や長さから自動検出します。

・今までにない検出能力で「見極める」
CCDカメラが苦手とする光沢表面上の欠陥や、素材と同色
の異物なども逃さず検出します。

・多様な装置構成で「見極める」
検査対象物に合わせて、反射・散乱・透過など様々な
検査方法に対応します。

金属やセラミック、高性能フィルムのキズ・クラック等の
欠陥を広範囲で検出します。
 
10mm幅において1μmの欠陥が検出可能な、高精細で高コントラストな欠陥検査装置です。

・驚きの高精細で「見極める」
10mm幅のエリアを一度に画像化し、最小1μmの
欠陥を面積や長さから自動検出します。

・今までにない鮮明な画像で「見極める」
従来機に比べ10倍の解像度を実現する事により
高コントラストで欠陥を検出します。

・顕微鏡クラスの性能で「見極める」
顕微鏡に比べて遙かに広い領域を画像化するため、
短時間での全面自動検査に対応します。

ガラス・水晶といった光学素材や金属の微細なキズ・
クラック・気泡、及び薄膜などの欠陥を検出します。
 

・最大A4サイズのガラス基板を検査できます!!
・傷や異物の検出はもちろん、透明コーティング膜のピンホールや透明異物なども検出!!
・ラボ用途からオフライン検査機などにご利用頂けます!!

ガラス基板、コーティング膜付ガラス基板、等の表面検査
※他にも金属板やセラミック基板等の平面パネル素材で
あれば検査可能です。
 

・最大φ30mm×L350mmの円筒/円柱形素材を検査できます!!
・金属管の微弱な打痕や突起物、傷、異物などを検出!!
・ラボ用途からオフライン検査機などにご利用頂けます!!

アルミ素管、ステンレス素管、金属製シャフト等の表面検査
※他にも、樹脂ロールやシリコンゴムロール等の円筒/円柱形
素材であれば検査可能です。