・驚きの高さ分解能で「見極める」 高さ方向判定値を元に1μm高さ分解能で表面形状の欠陥部を 自動検出します。
・今までにない検査幅で「見極める」 従来の変位系などのように点ではなく、100mmの幅の面で 表面変位の欠陥検査が可能です。
・表面形状の画像化で「見極める」 対象物の表面形状を非接触で画像化することにより 視覚的に欠陥を解析する事ができます。
・驚きの高速・広視野で「見極める」 300mm幅において最高18m/分のライン速度で画像化し、最小10μmの欠陥を面積や長さから自動検出します。
・今までにない検出能力で「見極める」 CCDカメラが苦手とする光沢表面上の欠陥や、素材と同色 の異物なども逃さず検出します。
・多様な装置構成で「見極める」 検査対象物に合わせて、反射・散乱・透過など様々な 検査方法に対応します。
・驚きの高精細で「見極める」 10mm幅のエリアを一度に画像化し、最小1μmの 欠陥を面積や長さから自動検出します。
・今までにない鮮明な画像で「見極める」 従来機に比べ10倍の解像度を実現する事により 高コントラストで欠陥を検出します。
・顕微鏡クラスの性能で「見極める」 顕微鏡に比べて遙かに広い領域を画像化するため、 短時間での全面自動検査に対応します。
・最大A4サイズのガラス基板を検査できます!! ・傷や異物の検出はもちろん、透明コーティング膜のピンホールや透明異物なども検出!! ・ラボ用途からオフライン検査機などにご利用頂けます!!
・最大φ30mm×L350mmの円筒/円柱形素材を検査できます!! ・金属管の微弱な打痕や突起物、傷、異物などを検出!! ・ラボ用途からオフライン検査機などにご利用頂けます!!